当社では、各種コンポーネントも取り扱っております。

詳細につきましてはお問い合わせください。

 

　●真空チャンバー

　●真空ポンプ各種

　●DC/RF電源

　●マスフローコントローラー

　●各種真空部品

 

当社では、真空成膜装置の改造や真空ポンプ（ドライポンプ・メカニカルブースタポンプ・ロータリーポンプ等）の修理、オーバーホールも承っております。

お気軽にご相談ください。